這種儀器在使用時(shí)，擺放在物件的上方，從儀器當(dāng)中發(fā)射了垂直向下的可視光線。其中一部分光會(huì)在膜的表面形成一個(gè)反射，另一部分則會(huì)透過儀器的薄膜，在薄膜與物件之間的界面開成反射，這個(gè)時(shí)候，薄膜的表面，以及薄膜的底部同時(shí)反射的光會(huì)造成干涉的現(xiàn)象。儀器便是利用了這樣的一種現(xiàn)象，從而測(cè)量出物件的厚度。厚度的測(cè)量看似簡(jiǎn)單，實(shí)測(cè)上所利用的光反射原理，卻是需要經(jīng)過一系列的設(shè)計(jì)才能達(dá)到如此理想狀態(tài)。如此光學(xué)膜厚測(cè)量?jī)x的使用，便也有著其它傳統(tǒng)測(cè)厚儀所沒有的優(yōu)點(diǎn)。

 

　　光學(xué)膜厚儀的使用注意事項(xiàng)：

　　1.零點(diǎn)校準(zhǔn)

　　在每次使用膜厚儀之前需要進(jìn)行光學(xué)校準(zhǔn)，因?yàn)橹暗臏y(cè)量參數(shù)會(huì)影響該次對(duì)物體的測(cè)量，零點(diǎn)校準(zhǔn)可以消除前次測(cè)量有參數(shù)的影響，能夠降低測(cè)量的結(jié)果的誤差，使測(cè)量結(jié)果更加精確。

 

　　2.基體厚度不宜過薄

　　在使用光學(xué)膜厚儀對(duì)物體進(jìn)行測(cè)量時(shí)基體不宜過薄，否則會(huì)極大程度的影響儀器的測(cè)量精度，造成數(shù)據(jù)結(jié)果不準(zhǔn)確，影響測(cè)量過程的正常進(jìn)行。

 

　　3.物體表面粗糙程度

　　對(duì)于被測(cè)物體的表面不宜太過粗糙，因?yàn)榇植诘谋砻嫒菀滓鸸獾难苌洌档土斯鈱W(xué)測(cè)量?jī)x的測(cè)量精度，造成很大的誤差。所以被測(cè)物體的表面應(yīng)該盡量保持光滑，以保證測(cè)量結(jié)果的精確性。